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大连化物所等利用深紫外激光PEEMLEEM表征晶圆六方氮化硼结构研究

发布时间:2021-03-07 10:37 作者:金宝搏

  作为国家在科学技术方面的最高学术机构和全国自然科学与高新技术的综合研究与发展中心,建院以来,中国科学院时刻牢记使命,与科学共进,与祖国同行,以国家富强、人民幸福为己任,人才辈出,硕果累累,为我国科技进步、经济社会发展和国家安全做出了不可替代的重要贡献。更多简介 +

  中国科学技术大学(简称“中科大”)于1958年由中国科学院创建于北京,1970年学校迁至安徽省合肥市。中科大坚持“全院办校、所系结合”的办学方针,是一所以前沿科学和高新技术为主、兼有特色管理与人文学科的研究型大学。

  中国科学院大学(简称“国科大”)始建于1978年,其前身为中国科学院研究生院,2012年更名为中国科学院大学。国科大实行“科教融合”的办学体制,与中国科学院直属研究机构在管理体制、师资队伍、培养体系、科研工作等方面共有、共治、共享、共赢,是一所以研究生教育为主的独具特色的研究型大学。

  上海科技大学(简称“上科大”),由上海市人民政府与中国科学院共同举办、共同建设,2013年经教育部正式批准。上科大秉持“服务国家发展战略,培养创新创业人才”的办学方针,实现科技与教育、科教与产业、科教与创业的融合,是一所小规模、高水平、国际化的研究型、创新型大学。

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  近日,中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室研究员傅强团队与台积电(TSMC)Lain-Jong Li团队、台湾交通大学Wen-Hao Chang团队、美国莱斯大学B. I. Yakobson团队、北京大学教授张艳峰团队合作,在2英寸晶圆衬底上成功外延生长单晶六方氮化硼(hBN)单层薄膜。

  六方氮化硼是一类重要的二维半导体层状材料,如何在晶圆上实现单晶六方氮化硼薄膜的可控生长是六方氮化硼未来应用于集成电路中的关键挑战。研究人员在蓝宝石基底上生长表面取向为(111)的无晶界单晶铜薄膜,以此作为衬底进一步制备完全有序的六方氮化硼晶圆片。对大面积单层薄膜结构单晶性质的表征和确认是两维材料研究中一个公认难题。研究人员借助于实验室自行研制的深紫外激光PEEM/LEEM装备,利用其特有的表面微区成像和衍射功能,在1英寸晶圆表面上选取近百个微米尺寸的微区进行结构分析,实验结果证实,六方氮化硼薄膜与Cu(111)衬底表面取向完全一致,确认了该单层薄膜的单晶特性。

  相关成果发表在《自然》(Nature)上。该工作得到国家自然科学基金科学中心项目、中科院战略性先导科技专项B类“能源化学转化的本质与调控”、国家重大科研装备研制项目等资助。

  大连化物所等利用深紫外激光PEEM/LEEM表征晶圆六方氮化硼结构研究获进展

  近日,中国科学院大连化学物理研究所催化基础国家重点实验室研究员傅强团队与台积电(TSMC)Lain-Jong Li团队、台湾交通大学Wen-Hao Chang团队、美国莱斯大学B. I. Yakobson团队、北京大学教授张艳峰团队合作,在2英寸晶圆衬底上成功外延生长单晶六方氮化硼(hBN)单层薄膜。

  六方氮化硼是一类重要的二维半导体层状材料,如何在晶圆上实现单晶六方氮化硼薄膜的可控生长是六方氮化硼未来应用于集成电路中的关键挑战。研究人员在蓝宝石基底上生长表面取向为(111)的无晶界单晶铜薄膜,以此作为衬底进一步制备完全有序的六方氮化硼晶圆片。对大面积单层薄膜结构单晶性质的表征和确认是两维材料研究中一个公认难题。研究人员借助于实验室自行研制的深紫外激光PEEM/LEEM装备,利用其特有的表面微区成像和衍射功能,在1英寸晶圆表面上选取近百个微米尺寸的微区进行结构分析,实验结果证实,六方氮化硼薄膜与Cu(111)衬底表面取向完全一致,确认了该单层薄膜的单晶特性。

  相关成果发表在《自然》(Nature)上。该工作得到国家自然科学基金科学中心项目、中科院战略性先导科技专项B类“能源化学转化的本质与调控”、国家重大科研装备研制项目等资助。

  大连化物所等利用深紫外激光PEEM/LEEM表征晶圆六方氮化硼结构研究获进展


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